每經AI快訊(xun)，有(you)(you)投(tou)資(zi)者(zhe)(zhe)在投(tou)資(zi)者(zhe)(zhe)互動平(ping)臺提問：請問公司有(you)(you)有(you)(you)哪些產品應用于集成(cheng)電路制造？

三(san)孚(fu)股(gu)份（603938.SH）3月8日在投資(zi)者互動平臺(tai)表示，公司產品(pin)電(dian)子(zi)(zi)(zi)級二(er)氯(lv)二(er)氫(qing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)、電(dian)子(zi)(zi)(zi)級三(san)氯(lv)氫(qing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)和電(dian)子(zi)(zi)(zi)級四(si)氯(lv)化(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)，均為電(dian)子(zi)(zi)(zi)特氣。 電(dian)子(zi)(zi)(zi)級三(san)氯(lv)氫(qing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)主(zhu)(zhu)要(yao)應(ying)用(yong)(yong)于(yu)硅(gui)(gui)(gui)(gui)外延片(pian)(pian)及(ji)碳化(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)行業。 電(dian)子(zi)(zi)(zi)級二(er)氯(lv)二(er)氫(qing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)主(zhu)(zhu)要(yao)應(ying)用(yong)(yong)于(yu)邏輯(ji)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)和存儲(chu)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)及(ji)硅(gui)(gui)(gui)(gui)基前(qian)驅(qu)體等領域。 電(dian)子(zi)(zi)(zi)級四(si)氯(lv)化(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)主(zhu)(zhu)要(yao)用(yong)(yong)于(yu)薄膜沉積與蝕刻工藝(yi)，隨(sui)著半導體制(zhi)程的先進(jin)化(hua)，電(dian)子(zi)(zi)(zi)級四(si)氯(lv)化(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)被廣(guang)泛使用(yong)(yong)于(yu)邏輯(ji)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)與存儲(chu)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)的蝕刻工藝(yi)流程。

(記者 王瀚黎)

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