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南大光電：公司氟類電子特氣如三氟化氮主要用于芯片制造中的腔體清洗、蝕刻工藝

每日經濟新聞 2023-04-04 16:41:54

每經AI快(kuai)訊，有投(tou)資者在(zai)投(tou)資者互動平臺(tai)提問(wen)：麻(ma)煩問(wen)下，咱南大光電(dian)產品(pin)系中，除了光刻外，在(zai)芯片(pian)的(de)清潔、沉積、蝕刻等，還(huan)有對應的(de)產品(pin)嗎？

南大光電（300346.SZ）4月(yue)4日在投(tou)資者(zhe)互動平臺表示，公司(si)氟(fu)類電子特氣如三(san)氟(fu)化氮主(zhu)要用于芯片制造中的腔體清洗、蝕刻工藝。

(記者 王可然)

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