每經(jing)AI快(kuai)訊，有投資者(zhe)在投資者(zhe)互動平臺提問：中科飛測已經(jing)量產28nm量測了(le)，公司的前道晶圓(yuan)檢測28nm什(shen)么時候出樣(yang)品？

天準(zhun)科技（688003.SH）9月(yue)18日在(zai)投資者互動平臺(tai)表(biao)示(shi)，天準(zhun)科技參股的蘇州(zhou)矽行半(ban)導體(ti)的面向28nm技術節點的明(ming)場檢(jian)測設備，目(mu)前正(zheng)在(zai)研發(fa)中。

(記者 蔡鼎)

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