每(mei)經AI快(kuai)訊， 芯源微在接受調研時表(biao)示，此前公(gong)司首臺浸沒式高產能(neng)涂膠(jiao)顯(xian)(xian)(xian)影(ying)機(ji)(ji)順(shun)利運付客戶(hu)現場(chang)，并完(wan)成(cheng)了各項工(gong)藝驗證(zheng)及(ji)(ji)光(guang)刻機(ji)(ji)聯(lian)(lian)機(ji)(ji)產能(neng)驗證(zheng)。機(ji)(ji)臺與(yu)國際主流光(guang)刻機(ji)(ji)聯(lian)(lian)機(ji)(ji)作業(ye)，完(wan)成(cheng)了客戶(hu)端十余款光(guang)阻、多層layer量(liang)產驗證(zheng)，數(shu)據均(jun)達到客戶(hu)量(liang)產指標(biao)。浸沒式高產能(neng)涂膠(jiao)顯(xian)(xian)(xian)影(ying)機(ji)(ji)的(de)發布，標(biao)志著公(gong)司在前道涂膠(jiao)顯(xian)(xian)(xian)影(ying)領域實現了對28nm及(ji)(ji)以上(shang)所有工(gong)藝節(jie)點的(de)全(quan)(quan)覆蓋(gai)，即可(ke)實現全(quan)(quan)面國產替(ti)代。