每(mei)經AI快(kuai)訊，據“中國科學院上(shang)海微(wei)(wei)系統(tong)”公眾(zhong)號消息，中國科學院上(shang)海微(wei)(wei)系統(tong)與信息技術研究所傳感(gan)器技術全國重(zhong)點實驗室(shi)在(zai)集成角度傳感(gan)器的(de)(de)高性能MEMS快(kuai)反鏡(jing)(jing)研制(zhi)方面(mian)取得重(zhong)要進展。制(zhi)備(bei)的(de)(de)MEMS快(kuai)反鏡(jing)(jing)鏡(jing)(jing)面(mian)尺寸大，封裝體積小，并具備(bei)良(liang)好的(de)(de)線性度、角分辨率、響應速(su)度、重(zhong)復定位精度和鏡(jing)(jing)面(mian)動態形(xing)變，同時(shi)集成了(le)高靈敏度角度傳感(gan)器，能夠實現更精確的(de)(de)激(ji)光(guang)光(guang)束閉環控制(zhi)，在(zai)激(ji)光(guang)衛星通信方面(mian)具有巨大的(de)(de)應用潛力。